整机规格 | 500mm(W)×500mm(D)×310mm(H) |
腔体规格 | Φ120mm×157mm |
腔体容积 | 1.8L |
电极规格 | 外置环形电极 |
载物规格 | 单层,150mm×100mm(平放、悬挂均可) |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源,40KHz |
控制系统 | 手动控制 |
真空系统 | 抽速:3L/S |
气路系统 | 2路工作气体、1路放空 |
工作电压 | AC220V |
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