NO    项目                  规格                                                                                备注
1    设备尺寸      700mm(W)×700mm(D)×2093mm(H)                                    含底轮指示灯
2     总重量               150Kg
3    电力需求             220V
4   腔体尺寸        尺寸： 260×260×260mm 材质：不锈钢                             腔体尺寸可定制
5   真空泵形式    机械泵油泵（外置）
6   处理时间       1-30min                                                                              依产品定
7  可使用气体     Ar、O2、N2、N2+H2等
8 等离子发生源   高频电源1000W
9 托盘系统         4层，有效尺寸：220*185（W*D）
10 控制系统       PLC+触摸屏